반도체·디스플레이·센서 등 전자기기 개발 적용
매일일보 = 이혜경 기자 | 광운대학교는 심준섭 전자융합공학과 교수 연구팀이 고가의 포토리소그래피 공정 없이 미세한 금속 패턴을 제작할 수 있는 기술을 개발했다고 15일 밝혔다.
포토리소그래피란 반도체 공정 중 하나다. 포토리소그래피 공정은 고가의 장비를 사용해야 하기 때문에 제작 비용이 비싸고 감광제와 현상액을 사용하기 때문에 환경친화적이지도 않다. 심 교수 연구팀은 이번에 개발한 기술을 통해 미세한 금속 패턴을 이용해 제작되는 고감도 바이오센서를 한번 사용하고 버릴 수 있는 일회용 제품 형태로 제작했다. 심 교수는 "개발된 기술은 바이오센서 뿐만 아니라 미세 금속 패턴이 요구되는 반도체·디스플레이·센서 등 다양한 전자 기기 개발에 적용될 수 있다"고 말했다. 이번 연구 결과는 바이오센서 분야의 세계적인 저널인 'Biosensors and Bioelectronics'에 게재됐다.저작권자 © 매일일보 무단전재 및 재배포 금지
